电子薄膜材料测试方案

概述：

某一维线性尺度远远小于它的其他二维尺度的材料称为薄膜材料，理论上薄膜材料厚度介于单原子到几毫米，但由于厚度小于 100nm 的薄膜已经被称为二维材料，因此薄膜材料通常指厚度介于微米到毫米的薄金属或有机物层。

薄膜材料可以分为非电子薄膜材料和电子薄膜材料， 非电子薄膜材料不需要对其电学特性进行分析，不是本方案针对的对象。电子薄膜又可分为导电薄膜，半导体薄膜，介质薄膜，电阻薄膜，磁性薄膜，压电薄膜， 光电薄膜，热电薄膜，超导薄膜等，表面电阻率是电子薄膜电学性质的重要参数。

电子薄膜材料表面电阻率测试

表面电阻率测试常用方法是四探针法与范德堡法，但对电子薄膜材料，范德堡法很少应用。多数情况下， 电子薄膜材料表面电阻率测试对测试仪器的要求没有二维材料 / 石墨烯材料高，用源表加探针台即可手动或编写软件自动完成测试。

电子薄膜材料电阻率测试面临的挑战

电子薄膜种类多，电阻率特性不同o 需选择适合的 SMU 进行测试

被测样品形状复杂，需选择适当的修正参数o 厚度修正系数对测试结果的影响 F(W/S) o 圆片直径修正系数对测试结果的影响

o 温度修正系数对测试结果的影响

环境对测试结果有影响

o 利用电流换向测试消除热电势误差o 利用多次平均提高测试精度

需考虑测试成本

电子薄膜材料测试方案：

通用配置

2450/2460/2461

四探针台（间距 1mm）

测试软件（第三方）

高阻电子薄膜材料测试方案

6221/2182A + 6514 X 2 + 2000 DMM

第三方探针台

手动或软件编程

方案优势 :

不同配置满足不同电子薄膜材料电阻率测试需求

高精度 SMU, 即可手动测试，也可以编程自动测试

高性价比